微机电系统的组成材料

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，即微电子机械系统、微系统、微机械等，微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪*技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
 
按其性质可分为结构材料、功能材料和智能材料。
（一）	结构材料
具有一定机械强度，用于构造机械器件基本结构的材料。结构材料可以是单一材料，也可以是材料组合体。
（二）	功能材料
压电材料、光敏材料、形状记忆材料、磁性材料等具有特定功能的材料。可以是单一材料，也可以是复合材料。
（三）	智能材料
一般具有传感、致动和控制等方面的基本功能，能模仿人类或生物的基本特定行为，能对外界信息具有反应，对信息激励有自适应的能力。常用的智能材料有形状记忆合金、电致伸缩材料、导电聚合材料、电流变和磁流变材料、储氢材料等。
（四）	多功能材料
微材料是多功能的 ，例如，在微机械中用的很多的硅晶体，因它有较好的强度和力学性能，是一种较好的结构材料；它又同时具有良好的多种传感性能，如光电效应、光电子效应、热阻效应、磁阻效应等，因此又是一种很好的功能材料

雅驰实业的微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS侧重于**精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。